@article{ART002221436,
author={한동원 and 박원욱 and 김종우 and 권아람},
title={증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성},
journal={한국표면공학회지},
issn={1225-8024},
year={2017},
volume={50},
number={2},
pages={119-124},
doi={https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119},
url={http://journal.kisehome.or.kr/}
}

TY - JOUR
AU - 한동원
AU - 박원욱
AU - 김종우
AU - 권아람
TI - 증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성
T2 - 한국표면공학회지
JO - 한국표면공학회지
PY - 2017
VL - 50
IS - 2
PB - 한국표면공학회
SP - 119
EP - 124
SN - 1225-8024
AB - Due to the high saturation magnetization (~2.4 T), Fe16N2 is interesting for the thin film application such as an actuator, data record storage and sensor etc. In this study, Fe-N thin films were deposited on Si(001) substrate with various power and deposition time by DC magnetron sputtering, in order to get high portion of Fe16N2¬ phase. Surface morphology, phase formation and magnetic properties were measured. As a result, Saturation magnetization and Remanence magnetization reach to ~2.45 T and 1.41T. But, Coercivity was not enough in this experiments. Its value lower than 100 Oe. Which is very close to theoretical value.
KW - DC Magnetron Sputtering, Fe16N2, Magnetic Property, Saturation and Remanence Magnetization
DO - https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119
UR - http://journal.kisehome.or.kr/
ER -

한동원, 박원욱, 김종우 and 권아람. 2017, "증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성", 한국표면공학회지, vol.50, no.2 pp.119-124. Available from: doi:https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119

한동원, 박원욱, 김종우, 권아람 "증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성" 한국표면공학회지 50.2 pp.119-124 (2017) : 119.

한동원, 박원욱, 김종우, 권아람. 증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성. 2017; 50(2), 119-124. Available from: doi:https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119

한동원, 박원욱, 김종우 and 권아람. "증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성" 한국표면공학회지 50, no.2 (2017) : 119-124.doi: https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119

한동원; 박원욱; 김종우; 권아람. 증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성. 한국표면공학회지, 50(2), 119-124. doi: https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119

한동원; 박원욱; 김종우; 권아람. 증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성. 한국표면공학회지. 2017; 50(2) 119-124. doi: https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119

한동원, 박원욱, 김종우, 권아람. 증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성. 2017; 50(2), 119-124. Available from: doi:https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119

한동원, 박원욱, 김종우 and 권아람. "증착 Power의 세기와 시간에 따른 Fe-N 박막의 구조와 자성 특성" 한국표면공학회지 50, no.2 (2017) : 119-124.doi: https://doi.org/10.5695/JKISE.2017.50.2.119