김희수; 김은호; Seonmi Han; Seung Jeong Noh
(The Korean Physical Society, 2003-09)
산화막의 두께가 85 \AA이고 게이트의 폭과 길이가 각각 10 $\mu$m와 5
$\mu$m인 NMOS, PMOS 소자에 양성자빔의 조사량을 변화시켜가면서
전기적 특성변화를 연구하였다. 양성자빔의 에너지는 1 MeV이며
조사량은 0.1, 0.5, 1, 5, 10, 50 Mrad이다. 조사량에 따라 문턱전압,
off-current, on-current, Gm(transconductance) ...